Виктор Николаевич Матвеев , Евгений Сергеевич Горнев - Микроэлектроника-2020. Сборник тезисов

РАФИНИРОВАННЫЙ
МЕТАЛЛУРГИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ КАК ОСНОВА ДЛЯ
ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЯ ДЛЯ СОЛНЕЧНОЙ ЭНЕРГЕТИКИ ...... 45
Ерёмин В.П., Елисеев И.А. СОСТОЯНИЕ ПРОИЗВОДСТВА
КРЕМНИЯ В РОССИИ И МИРЕ, ЕГО РАФИНИРОВАНИЕ ДО
ВЫСОКИХ МАРОК И «СОЛНЕЧНОГО» КАЧЕСТВА. ...................... 49
Кононенко О.В., Зотов А.В., Матвеев В.Н. ТУРБОСТРАТНЫЙ
МУЛЬТИСЛОЙНЫЙ ГРАФЕН – ПЕРСПЕКТИВЫ
ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ДЛЯ ДАТЧИКОВ МАГНИТНОГО ПОЛЯ И
ФОТОДЕТЕКТОРОВ ..................................................................................... 53
9

Кобелева С.П., Щемеров И.В., Шарапов А.А., Юрчук С.Ю. УЧЁТ
ПОВЕРХНОСТНОЙ РЕКОМБИНАЦИИ ПРИ ИЗМЕРЕНИИ
РЕКОМБИНАЦИОННОГО ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ ПО СПАДУ
ФОТОПРОВОДИМОСТИ В ОБРАЗЦАХ БОЛЬШОЙ ТОЛЩИНЫ.
................................................................................................................................ 55

Аверкин А.И., Козлов В.А., Николаев В.И., Тимашов Р.Б.,
Федоров М.В., Шпейзман В.В. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЧНОСТИ
СВЕРХТОНКИХ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ, ОТЛИЧАЮЩИХСЯ
СПОСОБАМИ ВЫРАЩИВАНИЯ МАТЕРИАЛА ПЛАСТИН И
ОБРАБОТКИ ИХ ПОВЕРХНОСТИ ........................................................... 59

Редькин С.В., Мальцев П.П., Гамкрелидзе С.А. КУБИЧЕСКИЙ
КАРБИД КРЕМНИЯ НА КРЕМНИИ. ...................................................... 62
Леньшин А.С., Барков К.А., Скопинцева Н.Г., Минаков Д.А.,
Середин П.В. ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ И
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МНОГОСЛОЙНЫХ
СИСТЕМ НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
ГАЗОХРОМАТОГРАФИЧЕСКИЕ КОЛОНКИ НА КРЕМНИЕВЫХ
ПОДЛОЖКАХ .................................................................................................. 68

Миланина К.И., Агафонов А.Н. ПЛАНАРНЫЕ
ГАЗОХРОМАТОГРАФИЧЕСКИЕ КОЛОНКИ НА КРЕМНИЕВЫХ
ПОДЛОЖКАХ .................................................................................................. 71

Карабанов С.М., Суворов Д.В., Сливкин Е.В., Тарабрин Д.Ю.,
Теруков Е.И. ОСОБЕННОСТИ ПРОЦЕССА МГД
ПЕРЕМЕШИВАНИЯ РАСПЛАВА КРЕМНИЯ...................................... 73

Логинова Е.М., Лизункова Д.А. НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЙ
КРЕМНИЙ КАК МАТЕРИАЛ ДЛЯ АДРЕСНОЙ ДОСТАВКИ
ЛЕКАРСТВ ........................................................................................................ 76

Полуэктова Н.А., Лизункова Д.А. ВЛИЯНИЕ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ НА СВОЙСТВА
ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР С
НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИМ КРЕМНИЕМ ......................................... 79
10

Полуэктова Н.А., Латухина Н.В., Чепурнов В.И., Павликов А.В.,
Головань Л.А. ОПТИЧЕСКАЯ ДИАГНОСТИКА
КАРБИДИЗИРОВАННЫХ КРЕМНИЕВЫХ НАНОНИТЕЙ. ........... 82

Абросимова Н.Д., Кипелкин И.М., Оболенский С.В.
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО
НИЗКОИНТЕНСИВНОГО РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СТРУКТУР
«КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ» ................................................................. 85
Мазинов А.С., Тютюник А.С., Гурченко В.С. СИНТЕЗ И
ПРОВОДЯЩИЕ СВОЙСТВА КРЕМНИЙ-УГЛЕРОДНЫХ
НАНОСТРУКТУР ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ
ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО
СИНТЕЗА ........................................................................................................... 87
Наумов А.В., Смирнова Н.Н., Старцев В.В. РАСПРЕДЕЛЕНИЕ
ВАКАНСИОННЫХ КЛАСТЕРОВ В МОНОКРИСТАЛЛАХ CZ-Ge
ДИАМЕТРОМ 200 ММ, ВЫРАЩЕННЫХ С ДОПОЛНИТЕЛЬНЫМ
НАГРЕВАТЕЛЕМ ........................................................................................... 91

Павлов А.А., Серикканов А.С., Турмагамбетов Т.С. ОЧИСТКА
МЕТАЛЛУРГИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ОТ БОРА И ФОСФОРА
ШЛАКОВЫМ РАФИНИРОВАНИЕМ...................................................... 94
Шаропов У.Б. ЭЛЕКТРОННО-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОГО
КОНТРОЛЬ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ
ПЛАСТИН .......................................................................................................... 97
Секция 2 «Атомные процессы на поверхности, границах
раздела и в объеме кремния: дефекты, примесные атомы,
гетерограницы» ................................................................................... 101
Терехов В.А., Барков К.А., Нестеров Д.Н., Попов А.И.,
Баринов А.Д., Середин П.В., Голощапов Д.Л., Занин И.Е.,
Ивков С.А., Домашевская Э.П., Козаков А.Т., Никольский А.В.
ВЛИЯНИЕ КИСЛОРОДА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ И
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК SIPOS. ........................... 101
Степина Н.П., Шумилин А.В., Бельтюков Я.М.,
Двуреченский А.В., Файнер Н.И. ОТРИЦАТЕЛЬНОЕ
МАГНЕТОСОПРОТИВЛЕНИЕ ПЛЕНОК SiCxNy:Fe. .................... 105
11

Зайцева Э.Г., Наумова О.В. СРАВНЕНИЕ ПОДВИЖНОСТИ В
ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХ С РАЗНЫМИ
КОНСТРУКТИВНЫМИ ПАРАМЕТРАМИ. ........................................ 108

P. Zukowski, T. Koltunowicz, K. Czarnacka, Федотов А.К.,
Тысченко И.Е. ТРАНСПОРТ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА И
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ ПЛЕНОК SiO2 С
НАНОЧАСТИЦАМИ InSb ......................................................................... 112
Тысченко И.Е. ТЕРМИЧЕСКАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ ПЛЁНОК
КРЕМНИЯ НА ИЗОЛЯТОРЕ НАНОМЕТРОВОЙ ТОЛЩИНЫ... 114

Попов В.П., Тысченко И.Е. СТРУКТУРЫ --">