Виктор Николаевич Матвеев , Евгений Сергеевич Горнев - Микроэлектроника-2020. Сборник тезисов

Отделение нанотехнологий и информационных технологий
Российской академии наук (ОНИТ РАН)
Научный совет ОНИТ РАН «Фундаментальные проблемы элементной
базы информационно-вычислительных и управляющих систем
и материалов для ее создания»
Консорциум «Перспективные материалы и элементная база
информационных и вычислительных систем»
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт
молекулярной электроники» (АО «НИИМЭ»)

МЕЖДУНАРОДНЫЙ ФОРУМ «МИКРОЭЛЕКТРОНИКА – 2020»
ШКОЛА МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ «МИКРОЭЛЕКТРОНИКА – 2020»

XIII Международная конференция «Кремний – 2020»
XII Школа молодых ученых и специалистов
по актуальным проблемам физики, материаловедения,
технологии и диагностики кремния,
нанометровых структур и приборов на его основе
Республика Крым, г. Ялта, пгт. Гурзуф,
санаторий «Гурзуф Центр»
21–25 сентября 2020 г.
Под редакцией члена-корреспондента РАН,
профессора Е.С. Горнева

МОСКВА – 2020

УДК 621.38
ББК 32.844.1
М43
Под редакцией
члена корреспондента РАН, профессора Е.С. Горнева

М43

Международный форум «Микроэлектроника – 2020». Школа молодых ученых «Микроэлектроника – 2020. XIII Международная конференция «Кремний – 2020». XII Школа молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам
физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе :
Сборник тезисов : Республика Крым, г. Ялта, 21–25 сентября
2020 г. / Под ред. Е.С. Горнева. – Москва : МАКС Пресс, 2020. –
402 с. : ил.
ISBN 978-5-317-06470-9
e-ISBN 978-5-317-06489-1
https://doi.org/10.29003/m1476.Silicon-2020
В выпуске представлены тезисы докладов XIII Международной конференции «Кремний – 2020» и XII Школы молодых ученых по актуальным
проблемам физики и технологии кремниевой электроники и нанометровых приборов, освещающие актуальные темы разработки процессов создания перспективной элементной базы и новых путей её использования.
Кроме традиционных тем исследования процессов в объёме кремния, на
поверхности и на границах раздела, их влияния на элементы кремниевой
электроники, представлены и новые перспективные направления, такие
как создание и исследование нейроморфных сетей, как ключевого элемента систем искусственного интеллекта, а также исследования в области
создания и моделирования квантовых объектов построения элементной
базы фотоники и оптоэлектроники. Представлены также доклады, затрагивающие практические вопросы построения моделей и развития систем
автоматизированного проектирования.
Ключевые слова: микроэлектроника, кремний, материаловедение, нанотехнологии, фотоника, оптоэлектроника, нейроморфные системы, моделирование.
УДК 621.38
ББК 32.844.1

ISBN 978-5-317-06470-9

© Авторы статей, 2020
© Горнев Е.С., общ. ред., 2020
© Оформление. ООО «МАКС Пресс», 2020

Nano- and Information Technology Department of Russian Academy of Science
(NITD RAS)
NITD RAS Scientific Council «Control systems components fundamentals»
Consortium «Computation systems components and advanced materials»
JSC «MERI»

INTERNATIONAL FORUM “MICROELECTRONICS – 2020”
YOUNG SCIENTISTS SCHOLARSHIP “MICROELECTRONICS – 2020”

XIII International Conference «Silicon – 2020»
XII Joung scientists scholarship
for silicon nanostructures and devices physics,
material science, process and analysis
Crimea Republic, Yalta, Gurzuf,
«Gurzuf Center» Resort
September 21–25, 2020
Edited by Correspondent Member of RAS
Professor E. Gornev

MOSCOW – 2020

UDC 621.38
BBC 32.844.1

Edited by
Correspondent Member of RAS Professor E. Gornev

International Forum “Microelectronics – 2020”. Joung
Scientists Scholarship “Microelectronics – 2020”. XIII International conference «Silicon – 2020». XII young scientists
scholarship for silicon nanostructures and devices physics,
material science, process and analysis : Abstract book : Crimea
Republic, Yalta September 21–25, 2020 / Ed. by E.S. Gornev. –
Moscow : MAKS Press, 2020. – 402 p. : ill.
ISBN 978-5-317-06470-9
e-ISBN 978-5-317-06489-1
https://doi.org/10.29003/m1476.Silicon-2020
This issue provides abstracts of XIII International Conference «Silicon –
2020» and XII Young Scientists Scholarship participants presentations
devoted to the actual problems of silicon electronics and nano-devices.
Presentations touch issues of advanced electronic elements, their fabrication processes and the way of application. Beside traditional topics of silicon bulk, surface and interface interaction influence upon semiconductor
devices properties the Book presents some novel themes like research and
development of neuromorphic networks as a basic part for artificial intelligence systems. Quantum dots models and research for optoelectronics
and photonics benefit are presented as well. As a real applications presentations for electronics model generation and automation design system development may be found.
Key words: microelectronics, silicon, materials science, nanotechnology, photonics, optoelectronics, neuromorphic systems, simulation.

ПРОГРАММНЫЙ КОМИТЕТ
Сопредседатели программного комитета:
Горнев
Евгений Сергеевич,
член-корреспондент РАН

заместитель руководителя
приоритетного технологического направления,
АО «НИИМЭ»

Кведер
Виталий Владимирович,
академик РАН

научный --">